2022年中国仪器仪表学术年会光学仪器与技术分论坛召开

2022年11月29-30日，由中国仪器仪表学会、国务院学位委员会仪器科学与技术学科评议组、教育部高等学校仪器类专业教学指导委员会主办，上海交通大学、上海工业自动化仪表研究院有限公司承办的2022年中国仪器仪表学术年会采取线上线下相结合的方式顺利召开。

会议注册代表824人，来自全国31个省、市、自治区。

会议历时3天，设院长论坛、标准化委员会工作会议、开幕式主论坛、闭幕式主论坛、专题分论坛、产学研技术交流会，共17场活动，特邀6位院士报告、78 位中青年专家报告。

由光机电技术与系统集成分会负责组织的“光学仪器与技术”分论坛于29日下午在线上召开。会议由光机电技术与系统集成分会主任委员、天津大学教授刘铁根致开幕辞和欢迎辞，他介绍了“光学仪器与技术”分论坛基本情况及本次会议的组稿情况。会议由刘铁根主任委员和光机电分会常务副主任委员、北京理工大学教授、长春理工大学副校长郝群主持。

会议邀请到了9位光学仪器与技术领域的专家作了邀请报告，朱健强研究员的报告结合高功率激光物理联合实验室50余年的发展历程，说明了激光器驱动机理问题的理解和解决是大科学工程发展的必由之路。周维虎研究员报告范围包括关键尺寸（CD）的量测、显微技术、光刻量测、前端工艺量测、片上互连量测、3D互连量测、材料表征、新材料和新器件的量测以及参考物质等内容。张宗华教授的报告针对透视投影误差、三维测量系统标定技术复杂且耗时及相位灵敏度低三个主要难题，提出了有效解决方法。陈洪芳教授的报告介绍了用先进的激光测量技术提高样板的测量精度来确保齿轮制造的精度。胡鹏程教授介绍了具有亚纳米至皮米分辨力、超低非线性和高稳定性特征的新一代亚纳米和皮米级超精密激光干涉测量方法，在下一代微电子光刻机、表面科学与工程、纳米加工、精密计量、大科学装置等研究领域具有潜在的广泛应用前景。唐鑫教授介绍了新型胶体量子点作为一种新兴液态半导体材料，具有光谱调控范围“宽”、合成规模“大”、制备成本“低”、以及加工工艺“易”等优势，为新型红外焦平面阵列研发提供了全新的思路。

本论坛共收到来自29个高校、研究所和科技公司的投稿60余篇，评选出优秀论文10篇。本次会议提供了国内光学仪器与技术领域交流平台，通过学术报告与交流，对我国光学仪器与技术的发展起到一定的推动作用。